纳米电子学

以量子化功能器件为基础的新型微电子学。包括半导体纳米电子学、超导体纳米电子学、纳米光电子学以及混合纳米电子学。其器件尺寸将小于电子平均自由程，即小于电子的德布罗意波长，器件的行为将表现出强烈的波动性，故有时亦称为电子波电子学。主要研究器件的量子效应和电子运动过程，特别是尺寸效应以及新物理现象；新型电路和系统设计；新型器件结构以及超微细加工技术，包括原子植入与移走的纳米器件加工技术。