单位体积大气中，成分气体体积仅占千分之一以下的气体。常以体积占百万分之几、十亿分之几或万亿分之几等测量值表示。主要分为两类：(1)单元素痕量气体。如氦、氖、氪、氙等惰性气体与氢、臭氧和土壤空气中的氡等。(2)化合物痕量气体。如无机痕量气体的二氧化氮、一氧化氮、氧化二氮、二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、硫化氢、氨等；有机痕量气体的甲烷等。各种痕量气体参与化学反应有易有难，滞留于大气中的时间有长有短，其中有的是大气中固有成分，有的则是因工业生产和居民生活燃烧化石燃料或交通工具的排出而进入大气的。有机化合物的痕量气体和氮、硫、碳等的氧化物气体属于污染痕量气体。它们在大气中的含量由于人类活动的原因而逐渐增多，对人体健康、环境污染、气候恶化都有密切关系。因此，有些国家已制订相应的措施，要求减少有污染性的痕量气体的排放。
