堆垛层错

晶体中的一类宏观缺陷。主要出现在用*外延方法生长的晶体中。外延时原子以一定规则逐层排列在衬底上面，形成外延层。但如衬底表面的局部区域有缺陷或杂质，该处的原子层次排列就会与正常不同，这时在正常排列与反常排列区域的交界处出现了错乱。这种错乱就称为堆垛层错。层错影响外延层质量，是造成外延器件性能低劣的原因之一。