吸附泵

利用多孔性物质在低温下能大量吸附气体(包括活性气体和惰性气体)的特性来捕集气体从而降低气压的一类真空泵。分子筛(人造沸石)和活性炭都是常用的吸附剂材料。它们对气体的吸附过程是可逆的，低温下吸附的气体在温度回升时将全部释放出来。升温使吸附的气体脱附的过程称为“再生活化”。分子筛吸附泵如多级串联使用，可达到10⁵～10⁶帕的超高真空。