集成电路的一种类型。构成一个完整电路所需的晶体管、二极管、电阻、电容、电感以及其间的连线，全部由厚度为1微米以下的金属、半导体或介质薄膜重叠构成。这种全薄膜的集成电路性能较差，无实用价值。实际应用的薄膜集成电路是将电阻、电容等元件用真空镀膜或溅射技术做在陶瓷基片上，再将单个晶体管或二极管连接在适当的位置而成为具有完整功能的电路。所以实用的薄膜电路实际上是一种混合集成电路。同半导体集成电路相比，混合型的薄膜集成电路具有元件参数范围广、精度高等优点，在电路设计上的灵活性较大，但制造方法比较繁复，成本较高。
