源乾曜,相州临漳人。隋朝比部侍郎源师的孙子。父源直心,高宗时曾任司刑太常伯,因犯错误流配岭南而去世。乾曜中进士,在景云年中(710),任谏议大夫。当时公卿百官三九射礼已久废,源乾曜却上疏道:“圣王教天下百姓,必制礼来正人情,人情正则家有孝子,国有忠臣。这一道理经久不衰,因为有理。因此君子三年不为礼,礼法一定会损坏;三年不为乐,乐一定崩坏。窃以为古代择士,先观射礼,来看清其和容之仪,并不是取一时之乐。关于射,可以区别正和邪,观德行,符合祭祀,打击敌人。古代圣王没有哪一个不相承袭的。臣窃见数年以来,射礼已废,有的因有关部门吝惜费用,便使大射有亏。臣愚以为所费的是财,所保全的却是礼。所以孔子说:‘尔爱其羊,我爱其礼’,现在时代更新,天下清明,臣望大射之礼仪不要废弃,圣人之教,始终进行,这样,天下就幸甚。”源乾曜不久调任梁州都督。
开元初年(713),..王府的官吏中有犯法的。玄宗令左右的人寻求一个能做王府长史的人,太常卿姜皎荐举源乾曜,说他公正清明有才干,因此被召见与玄宗交谈,源乾曜交谈得神清气爽,对答得有条不紊,玄宗很是赏识,便拜为少府少监,兼..王府长史。不久迁任户部侍郎、兼御史中丞。没多久,调任尚书左丞。开元四年冬,源乾曜任黄门侍郎,代理宰相职务。仅十天,又与姚元之一同罢免了宰相职务。
当时玄宗要去洛阳,以源乾曜为京兆尹,为京师留守,源乾曜治政宽厚简朴,不严但合理。曾有仗内白鹰,因放飞时失其所在,玄宗令京兆官员捕捉。没多久在野外捕获,但那只白鹰挂在荆棘中死去,官吏都惧怕得罪,相顾失色。乾曜却慢慢地说:“事有巧的情况,死也有常理,主上仁明,应当不以此来罪责人。如果一定要处罚,我自认了,不须惧怕。”于是源乾曜便入朝自请失旨之罪,玄宗对所有情况全不问。大家佩服源乾曜临事不惧怕,并且能引过在己。他任京兆尹三年,政令始终如一。
开元八年(720)春,又任黄门侍郎,代理宰相。不久又加银青光禄大夫,升任侍中。过了较长一段时间,源乾曜上疏“:臣见显要官员的家中都是谋求京中的职务,贤才之士多任外官,王道要公平,不应如此。臣有三男都在京城任职。望调出二人为外官,来协调均平之道。”玄宗同意这意见,于是把他的儿子源弼由河南府参军调出任绛州司功,源薭由太祝调任郑尉。玄宗同时还下旨“:源弼等人的父亲在朝廷任要职,但很是谦虚严己,他担心的是在官吏之中不能用才失序,带头显谦让之德,请求将自己的二子调外职。左传中不是说过吗‘:晋范宣子让,其下皆让。’‘晋国之人,于是大和。’道之能行,仁哪里会远呢?”因此令文武百官父子兄弟三人并在京师任职的,随自己通容,依年龄资历处理,由此公卿子弟有一百余人由京官调出。不久,又有上书者,认为“国之执政,休戚相关,若不稍加恩宠,怎么能让他们尽心尽力呢”?开元十年(722)十一月,玄宗下旨凡中书门下均共食实封三百户。这一实封是由源乾曜和张嘉贞开始的。
源乾曜后又从玄宗东往泰山封禅,拜尚书左丞相,仍兼侍中。乾曜在执政的十年中,张嘉贞、张说相继任中书令,源乾曜不与他们争权,每事必推让。到李元..、杜暹主持政事,源乾曜便不参议,只是同意签名而已。当初,源乾曜由姜皎所引荐,才被重用。等姜皎获罪,被张嘉贞排挤,源乾曜竟然不相救援,当时人们以此讥讽源乾曜。开元十七年(729)秋,停止了他兼任的侍中职务。这年秋天,迁任太子少师,他以他的祖父名字为师而坚决辞谢,便任太子少傅,封安阳郡公。开元十九年(732),玄宗到东都洛阳,源乾曜以年老多病,不堪随从,而留在京城养病。这年冬天去世。诏追赠幽州大都督。玄宗在洛阳城南门举哀,停止朝会两天。