唐京兆鄠县(今陕西户县)人，本姓冯，名小宝。于洛阳卖药为生。姿仪伟丽，得幸于高祖女千金公主之侍儿，转荐为武后男宠。乃度为僧，法名怀义，改姓薛。令与太平公主婿薛绍合族，绍以季父事之。出入禁中，权臣武承嗣等皆执僮仆礼事之，人称薛师，气盖一时，出百官之上。垂拱元年(685)，为白马寺主。四年，监造明堂、天堂，又作夹纻大像，高九百尺，凡役数万人，所费以亿万计，府藏为之耗尽。封梁国公。后屡任行军大总管，以御突厥为名，而不出长安一步。载初元年(690)，累进右卫大将军，改封鄂国公。与僧法明等上《大云经》，称武后为弥勒下生，当代唐为人世主，遂改是年为天授，改国号为周。因骄恣不顺，武后恶之，密选宫人有力者百余人擒杀之，焚尸白马寺。